Wafer Marking Studio

キーワード: Semi M12, Semi M13, Semi T7 Data Matrix, Semi T1 BC-412, SEMI M1.15

半導体業界は、現代技術の風景において魅力的で重要な一部を担っています。
半導体とは何ですか？
半導体は、導体（金属など）と絶縁体（セラミックスなど）の間の電気伝導性を持つ材料です。これらは、コンピューター、スマートフォン、その他のデジタルデバイスを含む現代電子機器の基盤となっています。

シリコンウェハとは？

シリコンウェハは、半導体デバイスの基材として使用される高純度結晶シリコンの薄いスライスです。これらは、集積回路（IC）やその他のマイクロ電子デバイスの基板として機能します。

シリコンウェハの生産プロセス

チョクラルスキー法: シリコンウェハは通常、チョクラルスキー法を使用して製造されます。これは、溶融シリコン浴から単結晶シリコンインゴットを引き上げる方法です。このインゴットを薄いウェハにスライスします。
ウェハ準備: 不純物や欠陥を除去するために、ウェハはいくつかのプロセスを経ます。化学エッチング、研磨、洗浄が行われ、滑らかで欠陥のない表面が確保されます。
ドーピング: シリコンウェハの電気的特性を変更するために不純物が注入されます。このプロセスはドーピングと呼ばれ、n型またはp型半導体を作成することが可能になります。

用途

シリコンウェハは、以下を含むさまざまな用途に使用されます:
集積回路（IC）: シリコンウェハの主な用途は、ほぼすべての電子機器に搭載されているICの製造です。
太陽電池: シリコンウェハは再生可能エネルギー用途の太陽電池の製造にも使用されます。
センサーおよびMEMS: シリコンウェハは、さまざまな用途のセンサーやマイクロ電気機械システム（MEMS）を作成するために使用されます。

シリコンウェハの裏面マーキング

裏面マーキングの重要性

シリコンウェハの裏面マーキングは、識別、トレーサビリティ、品質管理などのさまざまな目的で重要です。これらのマーキングにより、製造プロセス全体で各ウェハを正確に追跡することが可能になります。

マーキングの種類

エッチングマーク: レーザーアブレーションを使用して作成されるエッチングマークは、通常12～25ミクロンの深さがあります。「ハードマーク」として知られるこれらの永久マーキングは、長期間にわたり識別を確実にします。
焼き戻しマーク: シリコン表面を特定の温度に加熱することで形成される焼き戻しマークは、わずかな変形を引き起こし、視認可能なマーキングとなります。

裏面マーキングの目的

識別：SEMIフォントのシリアル番号、Semi T7データマトリックスバーコード、Semi T1 BC-412コードを含む、ウェハの追跡を行うためのものです。
トレーサビリティ：ウェハの出所、品質管理、不具合の原因調査のために不可欠です。
品質管理：欠陥のあるウェハを識別し、検査が必要なエリアをマーキングするために使用されます。

業界標準

SEMI T7：ダブルポリッシュウェハの裏面に2次元データマトリックスコードをマーキングするための規格です。
SEMI M12およびSEMI M13 0998：シリコンウェハに対するアルファベットおよび数字のマーキング規格です。
SEMI T1：シリコンウェハの裏面にBC-412コードをマーキングするための規格です。
SEMI M1.15： SEMI M1.15-1000 規格は、ノッチ付き300 mmポリッシュド単結晶シリコンウェハーのガイドラインを定めています。これは、SEMI T7データマトリックス記号に対するSEMIフォントマークの必要な距離、位置、および回転角度を規定しています。

ウェハマーキングスタジオ

ウェハマーキングスタジオはこれらの標準に基づいて設計されており、ユーザーはレーザー刻印機を使用してシリコンウェハの裏面にSEMI OCRフォント、SEMI T7シンボル、BC412シンボルを刻印することができます。

機能と能力

私たちのソフトウェアでは、SEMI OCRフォントオブジェクトを挿入できます。これには、単密度（5 x 9）、二重密度（10 x 18）、三重密度（15 x 27）、および四重密度（20 x 36）のSEMI OCRフォントオブジェクトが含まれます。チェックサム文字は自動的に追加されます。ユーザーはモジュールの半径を変更して、小さな円が重ならないようにすることができます。
シリコンウェハーがすでにSEMI T7データマトリックス記号でマークされている場合、ユーザーは同じメッセージ文字とチェックサム文字を含むアルファベットのSEMI OCRフォントを簡単に追加できます。この追加のマークの配置と回転角度は、SEMI M1.15規格に準拠しています。

ユーザーはまた、Semi T7データマトリックスオブジェクトを挿入することもできます。2文字のベンダーコードは、SEMI AUX1文書のベンダー識別コードリストのいずれかに一致する必要があります。SEMI T7データマトリックスコードの小セルは、正方形または小さな円形にすることができます。SEMI T7シンボルの指定位置は、エッジ専用ゾーンまたは基準軸から5度離れた固定質量ゾーン（FQA）外の外縁にあります。

さらに、ユーザーはBC-412コードをそのマーキング図面に挿入することができます。BC-412のバーコード部分は、バーまたは小さな円形で表すことができます。

これらの要素は、コンピュータでマウスを使用して簡単にドラッグまたは回転させることができます。
ユーザーはまた、テキストや密度など、これらのオブジェクトのプロパティを簡単に変更して、特定のニーズに適合させることができます。
デザインが完成したら、ユーザーはマーキング図面をGCodeファイルとしてエクスポートするか、USB接続のレーザー刻印機を使用して直接刻印することができます。

デザインとレイアウト：

ウェハマーキングスタジオは、美的で直感的なユーザーインターフェースを備えており、SEMIフォント、SEMI T7データマトリックス、BC-412コードの操作が容易です。

パフォーマンスと効率

ウェハマーキングスタジオは、読み込み時間が速く、ユーザー入力に迅速に応答します。信頼性が高く、改善のためにクラッシュやエラーを記録します。

サポートとドキュメント

ユーザーガイド：包括的なドキュメント、チュートリアル、操作ガイドが用意されています。
カスタマーサポート：専任のサポートチームが、メールと電話で迅速に対応します。

アップデートとメンテナンス

私たちのチームは、定期的なソフトウェアアップデートとバグ修正を提供することを約束します。より強力で機能豊富なバージョンが準備されています。